黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司承擔(dān)的“12英寸硅片用電子級多晶硅材料研發(fā)”項目近日順利通過省經(jīng)濟和信息化委組織的驗收。本項目的研究成果,成功填補了國家在集成電路用高純多晶硅材料方面的空白,打破了電子級多晶硅完全依賴進口的局面。
這個項目由黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)分公司和新能源分公司共同實施完成。項目通過對多晶硅生產(chǎn)線工藝技術(shù)研究及優(yōu)化改造、多晶硅過程質(zhì)量控制、檢測分析和硅片試制比對實驗,生產(chǎn)的電子級多晶硅質(zhì)量滿足下游客戶12英寸集成電路的技術(shù)要求。完善了體表金屬檢測方法及多晶硅產(chǎn)品收割、清洗和包裝工作標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。驗收會上,驗收專家聽取了課題組的項目執(zhí)行情況報告和資金使用說明,驗收意見認為該企業(yè)完成了項目所有研究內(nèi)容,技術(shù)指標(biāo)達到規(guī)定要求,并取得一定的經(jīng)濟和社會效益,同意該項目通過驗收。
目前,世界半導(dǎo)體工業(yè)正開始由8英寸硅片技術(shù)向12英寸硅片技術(shù)轉(zhuǎn)移,對12英寸硅片的市場需求將逐步擴大。
這個項目由黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)分公司和新能源分公司共同實施完成。項目通過對多晶硅生產(chǎn)線工藝技術(shù)研究及優(yōu)化改造、多晶硅過程質(zhì)量控制、檢測分析和硅片試制比對實驗,生產(chǎn)的電子級多晶硅質(zhì)量滿足下游客戶12英寸集成電路的技術(shù)要求。完善了體表金屬檢測方法及多晶硅產(chǎn)品收割、清洗和包裝工作標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。驗收會上,驗收專家聽取了課題組的項目執(zhí)行情況報告和資金使用說明,驗收意見認為該企業(yè)完成了項目所有研究內(nèi)容,技術(shù)指標(biāo)達到規(guī)定要求,并取得一定的經(jīng)濟和社會效益,同意該項目通過驗收。
目前,世界半導(dǎo)體工業(yè)正開始由8英寸硅片技術(shù)向12英寸硅片技術(shù)轉(zhuǎn)移,對12英寸硅片的市場需求將逐步擴大。