10月12日，由中科院微電子研究所承擔的中科院知識創(chuàng)新工程重要方向項目“超臨界循環(huán)流化床關鍵技術及富氧燃燒研究”通過驗收。

驗收會由中科院前沿局組織，在中科院嘉興微電子儀器與設備工程中心舉行。上海交通大學沈文忠教授擔任驗收組組長，來自中山大學、浙江大學、中科院上海微系統(tǒng)所、中科院蘇州納米所等單位的八位專家組成驗收組。

“超臨界循環(huán)流化床關鍵技術及富氧燃燒研究”項目執(zhí)行期為2011年6月至2013年5月，項目組按要求經(jīng)過兩年的精心組織和團隊共同努力，利用等離子體浸沒離子注入技術制備黑硅材料，并對黑硅太陽能電池進行研究，最終按期完成了全部研究任務，達到了任務書規(guī)定的全部考核指標。項目執(zhí)行期間，科研人員創(chuàng)新性地采用等離子體浸沒離子注入方法制備黑硅，制備的多晶硅片反射率低至1%（在可見光波段內(nèi)），表面微觀結構和反射率可控。此外，對多晶黑硅電池進行了系統(tǒng)的研究，研制的多晶黑硅電池轉(zhuǎn)換效率最高達18.3%，且小批量試產(chǎn)工藝穩(wěn)定，并在項目期間進行了中試研究和示范性應用。該項目共申請國家發(fā)明專利20件、國際專利6件；發(fā)表學術論文15篇；引進中科院“百人計劃”人才2人，培養(yǎng)中科院青年創(chuàng)新促進會會員2人，培養(yǎng)博士、碩士研究生8名。

驗收組認真聽取了項目負責人的匯報，審閱了項目組提交的驗收材料，經(jīng)過充分討論、質(zhì)詢和評議，一致同意該項目通過驗收，并對項目組取得的研究成果給予高度評價，認為該項目的完成將對現(xiàn)有晶硅太陽能電池生產(chǎn)線進行升級優(yōu)化，提高我國太陽能電池裝備領域的技術水平，為在光伏領域獲得自主知識產(chǎn)權做出貢獻，為我國光伏產(chǎn)業(yè)進一步發(fā)展、升級提供必要的技術積累，具有前瞻性和深遠的戰(zhàn)略意義。