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京運通承擔(dān)的“國家02專項”重大科技攻關(guān)項目“國產(chǎn)大尺寸區(qū)熔爐研制”項目近日取得重大技術(shù)進展，并于2012年8月14日，通過了由中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會組織召開的“JQ-800型6英寸區(qū)熔單晶爐” 技術(shù)鑒定會。
鑒定委員會由7位專家組成，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會孫洪濤秘書長擔(dān)任技術(shù)鑒定會主任委員，中國電子材料行業(yè)協(xié)會袁桐秘書長擔(dān)任技術(shù)鑒定會副主任委員，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會陳賢秘書長、中國科學(xué)院電工研究所太陽電池技術(shù)研究室主任王文靜研究員、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司事業(yè)部總經(jīng)理張建勇、北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司工業(yè)爐分公司副總經(jīng)理譚三成、中國電子科技集團公司第四十五研究所副總工程師張續(xù)業(yè)等專家任技術(shù)鑒定委員會委員。鑒定委員會認(rèn)為：京運通公司提供的技術(shù)鑒定文件齊全、規(guī)范，符合鑒定要求；該設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、性能優(yōu)越，攻克了重大共性關(guān)鍵技術(shù)之中機械部分的上、下軸高度同心技術(shù)，上軸行程2000mm，下軸行程2600mm，可以拉制長度在2500mm以內(nèi)的單晶硅棒；同時在單晶生長棱線識別系統(tǒng)、高精密夾持技術(shù)、大直徑多晶硅棒原料熔化技術(shù)、區(qū)熔熱場設(shè)計等方面具有創(chuàng)新性。主要技術(shù)指標(biāo)滿足6英寸區(qū)熔單晶生長的要求。已申請專利 2 項，其中發(fā)明專利1項，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的6英寸區(qū)熔單晶爐的設(shè)備制造技術(shù)，該設(shè)備的性能指標(biāo)達到了國產(chǎn)設(shè)備的領(lǐng)先水平；用該設(shè)備研發(fā)拉制了6英寸區(qū)熔單晶硅棒的工藝,并實現(xiàn)連續(xù)成功拉制。拉制的6英寸區(qū)熔單晶硅棒長度可達1.4米，等徑部分長度1.1米，重達52公斤，填補了國內(nèi)空白。鑒定委員會同意通過該設(shè)備的技術(shù)鑒定。
國家02專項辦、北京市經(jīng)信委、北京市科委、北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)等相關(guān)部門領(lǐng)導(dǎo)也出席了此次技術(shù)鑒定會，并聽取了京運通公司所作的研制總結(jié)報告，考察了生產(chǎn)現(xiàn)場。
區(qū)熔硅單晶較一般電子級單晶硅具有更高純度和更高電阻率，其產(chǎn)品銷售價格數(shù)倍于直拉單晶。在應(yīng)用領(lǐng)域上主要是用于IGBT器件、高壓整流器、大功率晶閘管，可控硅、電力電子器件、光敏二極管、射線探測器、紅外探測器以及國防建設(shè)、航天、航空和航海等尖端科技領(lǐng)域，對國民經(jīng)濟發(fā)展和國防建設(shè)有著十分重要的作用，目前市場存在很大缺口，具有非常廣闊的產(chǎn)業(yè)前景。高壓大功率IGBT功率器件的發(fā)展要求高質(zhì)量的單晶硅，對硅晶體中雜質(zhì)和缺陷的控制要求極高，因而，在將來相當(dāng)長一段時間內(nèi)6英寸及以上大直徑區(qū)熔單晶硅始終是制造IGBT器件的主要基礎(chǔ)材料。
無論是國際還是國內(nèi)區(qū)熔單晶硅發(fā)展形勢都非常好，但國內(nèi)的大直徑生產(chǎn)設(shè)備則全部是引進國外的，國內(nèi)還沒有具備生產(chǎn)大直徑（5英寸以上）區(qū)熔單晶硅的設(shè)備的企業(yè)。 區(qū)熔單晶硅生長爐是生產(chǎn)區(qū)熔單晶硅片的關(guān)鍵設(shè)備之一，世界上生產(chǎn)和銷售區(qū)熔爐的廠家只有丹麥的TOPSOE等少數(shù)幾家公司，目前國內(nèi)設(shè)備保有量僅有十幾臺，且大直徑的區(qū)熔硅單晶爐都是進口，價格在2000萬元人民幣以上。而區(qū)熔單晶的制作工藝也需技術(shù)引進。公司的JQ-800區(qū)熔單晶爐的成功研制，填補了國內(nèi)的這一項技術(shù)空白，具有劃時代的歷史意義。
由京運通公司研制的國產(chǎn)大型區(qū)熔單晶爐于近日連續(xù)成功拉制出6英寸區(qū)熔單晶硅棒，拉制出的首根6英寸區(qū)熔單晶棒整根重量達52公斤，等徑長度1.1米，全長1.4米，這是大型區(qū)熔單晶硅爐研制的重大且可喜的進步。同時公司研制的區(qū)熔單晶爐之前拉制出的5英寸區(qū)熔單晶硅棒經(jīng)第三方檢驗，結(jié)果顯示該5英寸區(qū)熔單晶硅棒品質(zhì)合格，各項指標(biāo)均達到了設(shè)計要求。5英寸區(qū)熔單晶硅棒的質(zhì)檢合格報告及6英寸區(qū)熔單晶硅棒的成功拉制，意味著我公司的區(qū)熔單晶硅爐研制項目取得了重大技術(shù)成果！這是國內(nèi)首次應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備成功實現(xiàn)6英寸區(qū)熔單晶硅的工藝生產(chǎn)，是國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備研制的重大突破，也是國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備的歷史性時刻，標(biāo)志著國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備真正打破了國外對5-6英寸區(qū)熔單晶生產(chǎn)設(shè)備的壟斷，是向大尺寸區(qū)熔單晶設(shè)備產(chǎn)業(yè)化邁進的重大一步，更預(yù)示著國產(chǎn)高端設(shè)備的崛起。
鑒定委員會由7位專家組成，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會孫洪濤秘書長擔(dān)任技術(shù)鑒定會主任委員，中國電子材料行業(yè)協(xié)會袁桐秘書長擔(dān)任技術(shù)鑒定會副主任委員，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會陳賢秘書長、中國科學(xué)院電工研究所太陽電池技術(shù)研究室主任王文靜研究員、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司事業(yè)部總經(jīng)理張建勇、北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司工業(yè)爐分公司副總經(jīng)理譚三成、中國電子科技集團公司第四十五研究所副總工程師張續(xù)業(yè)等專家任技術(shù)鑒定委員會委員。鑒定委員會認(rèn)為：京運通公司提供的技術(shù)鑒定文件齊全、規(guī)范，符合鑒定要求；該設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、性能優(yōu)越，攻克了重大共性關(guān)鍵技術(shù)之中機械部分的上、下軸高度同心技術(shù)，上軸行程2000mm，下軸行程2600mm，可以拉制長度在2500mm以內(nèi)的單晶硅棒；同時在單晶生長棱線識別系統(tǒng)、高精密夾持技術(shù)、大直徑多晶硅棒原料熔化技術(shù)、區(qū)熔熱場設(shè)計等方面具有創(chuàng)新性。主要技術(shù)指標(biāo)滿足6英寸區(qū)熔單晶生長的要求。已申請專利 2 項，其中發(fā)明專利1項，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的6英寸區(qū)熔單晶爐的設(shè)備制造技術(shù)，該設(shè)備的性能指標(biāo)達到了國產(chǎn)設(shè)備的領(lǐng)先水平；用該設(shè)備研發(fā)拉制了6英寸區(qū)熔單晶硅棒的工藝,并實現(xiàn)連續(xù)成功拉制。拉制的6英寸區(qū)熔單晶硅棒長度可達1.4米，等徑部分長度1.1米，重達52公斤，填補了國內(nèi)空白。鑒定委員會同意通過該設(shè)備的技術(shù)鑒定。
國家02專項辦、北京市經(jīng)信委、北京市科委、北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)等相關(guān)部門領(lǐng)導(dǎo)也出席了此次技術(shù)鑒定會，并聽取了京運通公司所作的研制總結(jié)報告，考察了生產(chǎn)現(xiàn)場。
區(qū)熔硅單晶較一般電子級單晶硅具有更高純度和更高電阻率，其產(chǎn)品銷售價格數(shù)倍于直拉單晶。在應(yīng)用領(lǐng)域上主要是用于IGBT器件、高壓整流器、大功率晶閘管，可控硅、電力電子器件、光敏二極管、射線探測器、紅外探測器以及國防建設(shè)、航天、航空和航海等尖端科技領(lǐng)域，對國民經(jīng)濟發(fā)展和國防建設(shè)有著十分重要的作用，目前市場存在很大缺口，具有非常廣闊的產(chǎn)業(yè)前景。高壓大功率IGBT功率器件的發(fā)展要求高質(zhì)量的單晶硅，對硅晶體中雜質(zhì)和缺陷的控制要求極高，因而，在將來相當(dāng)長一段時間內(nèi)6英寸及以上大直徑區(qū)熔單晶硅始終是制造IGBT器件的主要基礎(chǔ)材料。
無論是國際還是國內(nèi)區(qū)熔單晶硅發(fā)展形勢都非常好，但國內(nèi)的大直徑生產(chǎn)設(shè)備則全部是引進國外的，國內(nèi)還沒有具備生產(chǎn)大直徑（5英寸以上）區(qū)熔單晶硅的設(shè)備的企業(yè)。 區(qū)熔單晶硅生長爐是生產(chǎn)區(qū)熔單晶硅片的關(guān)鍵設(shè)備之一，世界上生產(chǎn)和銷售區(qū)熔爐的廠家只有丹麥的TOPSOE等少數(shù)幾家公司，目前國內(nèi)設(shè)備保有量僅有十幾臺，且大直徑的區(qū)熔硅單晶爐都是進口，價格在2000萬元人民幣以上。而區(qū)熔單晶的制作工藝也需技術(shù)引進。公司的JQ-800區(qū)熔單晶爐的成功研制，填補了國內(nèi)的這一項技術(shù)空白，具有劃時代的歷史意義。
由京運通公司研制的國產(chǎn)大型區(qū)熔單晶爐于近日連續(xù)成功拉制出6英寸區(qū)熔單晶硅棒，拉制出的首根6英寸區(qū)熔單晶棒整根重量達52公斤，等徑長度1.1米，全長1.4米，這是大型區(qū)熔單晶硅爐研制的重大且可喜的進步。同時公司研制的區(qū)熔單晶爐之前拉制出的5英寸區(qū)熔單晶硅棒經(jīng)第三方檢驗，結(jié)果顯示該5英寸區(qū)熔單晶硅棒品質(zhì)合格，各項指標(biāo)均達到了設(shè)計要求。5英寸區(qū)熔單晶硅棒的質(zhì)檢合格報告及6英寸區(qū)熔單晶硅棒的成功拉制，意味著我公司的區(qū)熔單晶硅爐研制項目取得了重大技術(shù)成果！這是國內(nèi)首次應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備成功實現(xiàn)6英寸區(qū)熔單晶硅的工藝生產(chǎn)，是國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備研制的重大突破，也是國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備的歷史性時刻，標(biāo)志著國產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備真正打破了國外對5-6英寸區(qū)熔單晶生產(chǎn)設(shè)備的壟斷，是向大尺寸區(qū)熔單晶設(shè)備產(chǎn)業(yè)化邁進的重大一步，更預(yù)示著國產(chǎn)高端設(shè)備的崛起。
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