日前SEMI發(fā)布了五項新技術(shù)標準，涉及半導(dǎo)體、MEMS以及光伏制造產(chǎn)業(yè)，由設(shè)備及材料供應(yīng)商、SEMI國際標準項目小組等的技術(shù)專家共同制定而成。 

    此次新標準包含了對于光伏硅">光伏硅原料的檢測方法。SEMI國際標準總監(jiān)James Amano,表示，“隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，SEMI已就光伏產(chǎn)業(yè)創(chuàng)建了一套標準體系。相信新標準的建立對于設(shè)備及工藝領(lǐng)域?qū)⒂兴Ｕ稀！?/P>

    五項標準分別是：

    SEMI E151
    Guide for Understanding Data Quality
       
    SEMI F107
    Guide for Process Equipment Adaptor Plates
       
    SEMI M75
    Specifications for Polished Monocrystalline Gallium Antimonide Wafers
       
    SEMI MS8
    Guide to Evaluating Hermeticity of MEMS Packages

    SEMI PV1
    Test Method for Measuring Trace Elements in Photovoltaic-Grade Silicon by High-Mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry