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點(diǎn)擊 9614回答 0 2011-05-18 20:43

燒結(jié)后鋁背場起包

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近段時(shí)間來發(fā)現(xiàn)燒結(jié)完畢后背場部分起了鋁包,主要集中在中間(奇怪的就是鋁包經(jīng)常性的連成一條線),另外在硅片邊緣部分也有出現(xiàn)過鋁包。
嘗試過調(diào)節(jié)燒結(jié)爐的溫度,發(fā)現(xiàn)無論是升溫還是降溫,升帶速還是降帶速都還是或多或少的有鋁包(當(dāng)然完全沒有鋁包的也有就是功率慘了點(diǎn),主要是FF沒燒到位);其次試過增加了鋁背場的濕重,一樣的有鋁包。目前來說我正在考慮絨面處是否金字塔過大。。不過在這里希望大家能夠相互討論下,絨面如果沒問題的話。。該繼續(xù)排查哪個(gè)部分。。
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