北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司成功地設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出高性能HS-WDI型高級(jí)數(shù)碼正置金相顯微鏡。選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件,使它具有出色的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),可獲得高清晰的顯微圖像,成像效果可與進(jìn)口顯微鏡媲美。高效優(yōu)異的數(shù)碼功能,成像清晰,實(shí)時(shí)視頻圖像,同步顯示,色彩清晰、真實(shí)。廣泛應(yīng)用于多種太陽(yáng)能和半導(dǎo)體等各個(gè)檢測(cè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品應(yīng)用:
HS-WDI型金相顯微鏡是針對(duì)高端用戶的需求而研發(fā)的,作為高級(jí)金相顯微鏡,可廣泛應(yīng)用于金相材料檢驗(yàn)、半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、電池片、薄膜電池、FPD、電路封裝、電路基板、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用超大視場(chǎng)高級(jí)明暗場(chǎng)物鏡,超長(zhǎng)工作距離,高清晰視野。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能,使您在工作中感到舒適和放松。
儀器特點(diǎn):
♣ 金相顯微鏡鏡體:穩(wěn)定的底座及載物臺(tái),確保良好的機(jī)械穩(wěn)定性,防震動(dòng)設(shè)計(jì)。各種調(diào)節(jié)及控制部件使用方
便,功能擴(kuò)展性強(qiáng),適合金屬材料領(lǐng)域的研究、微電子及半導(dǎo)體硅片的研究檢測(cè)、工礦企業(yè)檢驗(yàn)使用。
♣ 采用正置式,最新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng).
♣ 光源及光路采用長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)?,帶調(diào)光裝置??讖焦怅@和視場(chǎng)光闌中心和大小可調(diào)。使用壽命在1000小時(shí)以上。鏡體內(nèi)置電壓平衡系統(tǒng),使圖像不會(huì)因電壓變化而閃爍。濾色片系統(tǒng):配置日光矯正中性濾光片、藍(lán)色濾光片、綠色濾光片;目鏡配置測(cè)微尺0.01mm,用于長(zhǎng)度等的測(cè)量及定標(biāo)。
♣ 目鏡采用10倍高眼點(diǎn)超大視場(chǎng)雙目觀察,視場(chǎng)數(shù)不低于25mm,目鏡可根據(jù)使用者的曲光度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
♣ 物鏡采用最新高精度長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差明場(chǎng)/暗場(chǎng)金相物鏡,三重色差校正,獨(dú)立克服色差像
差。使用高折射率低色散螢石材料及特殊鍍膜技術(shù),能夠具有高分辨率、高對(duì)比度,良好的色彩還原;物鏡組環(huán)均為全金屬部件,保證物鏡內(nèi)多組透鏡光軸長(zhǎng)期使用不偏移。光學(xué)部件鍍膜具有防霉功能。
♣ 物鏡轉(zhuǎn)換器為四孔式,能夠同時(shí)安裝明場(chǎng)和偏光、定位精確、轉(zhuǎn)換物鏡視場(chǎng)不漂移。
♣ 數(shù)碼系統(tǒng)采用工業(yè)原裝彩色數(shù)字CCD攝像頭,與顯微鏡匹配使用,不低于300萬(wàn)有效象素,保證實(shí)時(shí)采集
到高清晰度、高色度和高色彩還原度圖片。
技術(shù)參數(shù):
1. 目 鏡
目 鏡
|
放大倍數(shù)
|
視場(chǎng)(mm)
|
大視場(chǎng)高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡
|
10×
|
∮25
|
帶十字線刻度分劃目鏡
|
10×
|
∮20
|
2. 物 鏡(標(biāo)配4個(gè))
物鏡
|
放大倍數(shù)
|
數(shù)孔直徑
|
工作距離(mm)
|
長(zhǎng)工作距離
無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)
明場(chǎng)/暗場(chǎng)
金相物鏡
|
5×
|
0.15
|
26.4
|
10×
|
0.25
|
16.0
|
|
20×
|
0.40
|
10.6
|
|
40×
|
0.50
|
5.4
|
|
100×
|
0.80
|
3.0
|
3.光學(xué)系統(tǒng):采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
4.放大倍數(shù):50X-1000X
5.觀測(cè)方式:明場(chǎng)/暗場(chǎng)觀測(cè)、偏光觀測(cè)、微分干涉觀察(選配)。
6.轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器
7.調(diào)焦系統(tǒng):粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
8.偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡檢偏鏡均可移出光路
9.濾光裝置:插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性)
10.載物臺(tái)測(cè)微計(jì):0.01mm,可用于測(cè)量微觀尺寸
11.分劃目鏡:0.1mm,與載物臺(tái)測(cè)微計(jì)配合使用,測(cè)量樣品尺寸
12.載物臺(tái):二維移動(dòng)載物臺(tái),低位同軸手輪操作X、Y移動(dòng)范圍:150mm×180mm
13.照明系統(tǒng):采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度,帶孔徑可變光欄和視場(chǎng)可變光欄
14.電源系統(tǒng):90-260V / 50-60Hz
15.數(shù)碼系統(tǒng):300萬(wàn)像素彩色CCD系統(tǒng)、轉(zhuǎn)接鏡頭、USB直接與電腦連接,方便快捷
16.測(cè)量軟件:可實(shí)現(xiàn)對(duì)集成電路的線寬、線距、角度、兩點(diǎn)間距離、圓、平行線間距離、
任意曲線長(zhǎng)度、任意多邊形等的幾何尺寸測(cè)量。精度可達(dá)±1µm. 可拍照數(shù)碼
照片進(jìn)行分析、存儲(chǔ)、處理等。
儀器配置表
顯微鏡型號(hào)
|
HS-WDI
|
|||
放大倍數(shù)
|
50×、100×、400×、1000×
|
|||
序號(hào)
|
部件名稱
|
單位
|
數(shù)量
|
備注
|
1
|
金相顯微鏡本體
|
臺(tái)
|
1
|
|
1.1
|
顯微鏡鏡體
|
件
|
1
|
帶三目觀察頭
|
1.2
|
高眼點(diǎn)視度可調(diào)超大場(chǎng)目鏡
|
個(gè)
|
2
|
視場(chǎng)范圍不小于25mm
|
1.3
|
長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差
明/暗場(chǎng)金相物鏡
|
個(gè)
|
1
|
5×/0.20 HD 工作距離≥29.5mm
|
個(gè)
|
1
|
10×/0.25 HD工作距離≥16.5mm
|
||
個(gè)
|
1
|
40×/0.50HD工作距離≥5.4mm
|
||
個(gè)
|
1
|
100×/0.80HD工作距離≥3.0mm
|
||
1.4
|
轉(zhuǎn)換器
|
件
|
1
|
內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器
|
1.5
|
機(jī)械載物臺(tái)
|
件
|
1
|
X方向 尺寸180mm
|
件
|
1
|
Y方向 尺寸150mm
|
||
1.6
|
三維可調(diào)節(jié)燈室
|
聚光透鏡可通過(guò)旋鈕前后移動(dòng),反光盒可通過(guò)旋鈕進(jìn)行三維調(diào)節(jié)移動(dòng)
|
||
1.7
|
3位反射功能模塊盒
|
件
|
1
|
帶有孔徑光闌和視場(chǎng)光闌
中心和大小可調(diào)
|
1.8
|
偏光裝置
|
件
|
1
|
起偏片,可移出光路
|
件
|
1
|
檢偏片,可360°旋轉(zhuǎn)
|
||
1.9
|
明&暗場(chǎng)反射功能模塊
|
件
|
1
|
明/暗場(chǎng)反射光路
|
1.10
|
長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)?/div>
|
個(gè)
|
1
|
12V 50W ; 配有電壓平衡系統(tǒng)
|
1.11
|
日光色差矯正濾色片
|
片
|
1
|
可隨意移出移進(jìn)光路
|
1.12
|
藍(lán)色矯正濾色片
|
片
|
1
|
可隨意移出移進(jìn)光路
|
1.13
|
綠色矯正濾色片
|
片
|
1
|
可隨意移出移進(jìn)光路
|
1.14
|
數(shù)碼接口適配鏡頭
|
件
|
1
|
連接數(shù)碼裝置
|
2
|
測(cè)微尺
|
件
|
1
|
0.01mm
|
3
|
數(shù)碼攝像頭
|
件
|
1
|
不低于300萬(wàn)像素彩色CCD
|
4
|
防塵罩
|
件
|
1
|
|
選 配
|
||||
1
|
專業(yè)金相分析軟件
|
見(jiàn)詳細(xì)說(shuō)明資料
|
||
2
|
電腦
|
內(nèi)存大于1G,處理器速度大于2G
|
||
3
|
打印機(jī)
|
打印清晰照片
|